感測器｜基礎篇

薄膜壓電MEMS

  • 壓電（Piezo）
    壓電（壓電元件）是透過施加力產生電壓或反過來透過施加電壓使之變形的一種元件。
  • 壓電相關用語
    對壓電相關的術語進行簡要說明。
  • MEMS
    MEMS是一種利用微細加工技術將機械零件、電子電路、感測器和致動器集約在一塊電路板上的高附加值元件。
  • MEMS相關用語
    對MEMS相關的術語進行簡要說明。